1. Mechanical microsensors
المؤلف: M. Elwenspoek, R.J. Wiergerink
المکتبة: کتابخانه مرکزی دانشگاه یاسوج (محمد بهمن بیگی) (کهکیلویة و بویرأحمد)
موضوع: Detectors- Design and construction,Microelectromechanical systems- Design and construction,Transducers,Silicon,Micromachining
رده :
681
,.
2
,
E49